Park systems NX10

　　创新的功能满足创新的工作

　　准确成像, 无交叉耦合现象

　　- 业界领先的XYZ轴线性度，样品和探针分别由独立的柔性制导扫描器控制移动

　　- 最低的平面偏移度，全程水平扫描时平面偏移量不超过1纳米

　　- 垂直扫描器全程伸缩时，线性度优于0.015%

　　- 优化的水平扫描器ringing现象, 科学的正向sine-scan算法

　　准确扫描，真正的非接触模式

　　- 业界领先的垂直扫描器，带宽超过9kHz，探针垂直伺服响应速度超过62mm/sec

　　- 在非接触模式下最快的扫描速度

　　- 极低的探针磨损，能够保证长时间的高质量扫描

　　- 极低的样品损伤

　　准确测量，真正的样品形貌

　　- 采用业界领先的低噪声迟滞检测器测量样品形貌

　　- 业界领先的极小正反测量偏离量，小于0.15%

　　- 采用优化的散热部件，极大地降低了系统热漂移和迟滞现象

　　- 功能强大的先进隔音罩，舱体内部主动控温用户工作效率

　　- 开放式的设计，方便更换探针和样品

　　- 探针预定位装夹设计，简单便捷的测量激光调节过程，具有专利的自上至下的直观观察系统

　　- 创新的“十秒进针”功能，探针可自动高速完成进针操作

　　- 24位数字电控箱，三组内置锁存放大器，具备Q-control和弹性常数校准功能

　　*技术参数

　　XY扫描器

　　闭环控制式单模块柔性XY扫描器。

　　扫描范围: 50 μm × 50 μm (可选 100 μm × 100 μm)

　　分辨率: 0.05 nm

　　定位检测噪音:

　　水平线性:

　　Z扫描器

　　柔性引导高力度扫描器

　　扫描范围: 15 μm (可选 30 μm)

　　分辨率: 0.015 nm

　　定位检测噪音: 0.03 nm (带宽: 1 kHz)

　　共振频率: > 9 kHz (typically 10.5 kHz)

　　表面成像噪音:

　　光学系统

　　可观察样品和探针的直视同轴光学系统

　　视场: 480 × 360 μm (10× objective lens)

　　CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）

　　物镜

　　10x (0.21 NA) 超长工作范围的镜头(1 μm分辨率)

　　20x (0.42 NA) 高分辨率长工作范围的镜头(0.6 μm 分辨率)

　　信号处理

　　ADC: 18个通道

　　4 个高速 ADC 通道 (50 MSPS)

　　X,Y和Z扫描器定位传感器的24-bit ADCs

　　DAC: 12 信道

　　2 个高速 DAC 通道 (50 MSPS)

　　X,Y和Z扫描器定位的20-bit DACs

　　最大数据大小: 4096 x 4096 像素

　　集成功能

　　3个通道数字锁相放大器

　　热噪声法标定弹性系数

　　数码Q控制

　　外部信号介入

　　20个嵌入式信号输入/输出端口

　　5个TTL输出: EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias