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　　真空镀膜加工厂表示，真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延和PLD激光溅射沉积等很多种。主要是分成蒸发和溅射两种。

　　需要镀膜的被成为基片，镀的材料被成为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。

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