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　　缺陷:结构费用较高,弹性运用空间艰难,天花板之吊架适当占空间,修理更换过滤器较费事.3、复合式(Mixed Type)复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供部分超洁净的空气.(1)洁净地道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或作业区域100%掩盖使洁净度等级进步至10级以上,可节约安装作业费用.此型式需将作业人员之作业区与商品和机器修理予以阻隔,以机器修理时影响作业及质量.ULSI制程大都选用此种型式.洁净地道还有二项长处:A.弹性扩大简略；B.修理设备时可在修理区容易履行.

　　净化车间装修要求:1、工业净化车间的建筑围护界区和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度变化的作用下变形小的材料。 净化车间内墙壁和顶棚的表面，应平整、光洁、无裂缝、接口严密，无颗粒。2、工业净化车间的建筑围护界区和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度变化的作用下变形小的材料。3、净化车间内墙壁和顶棚的表面，应平整、光洁、无裂缝、接口严密，无颗粒物脱落，并应耐清洗和耐酸碱，墙壁和地面、吊顶结合处做成弧形，踢脚不宜高出墙面，当采用轻质材料融断时，应采用防碰撞措施。

　　3、装饰面板:装饰面板，俗称面板，是将实木板精密刨切成厚度为0.2mm左右的微薄木皮，以夹板为基材，经过胶粘工艺制做而成的具有单面装无尘车间的围护结构和室内装修材料宜选用气密性良好，同时在温度、湿度等变化时，本身变形小的材料；墙壁和顶棚表面应光洁平整、不起灰、不落尘、耐腐蚀、耐冲击、易清洗。为了使无尘车间的建筑表面尽量少积灰、易清扫，应在建筑构造上避免或减少凹凸面，墙面与地面、墙面与顶棚、墙面与墙面的相接处也不宜做成一般的直角，宜做成半径大于或等于50mm的圆角。壁面涂层的彩要和谐、雅致、素淡，以便于显现壁面上的污染物。同样，地面也应做到平整、无缝隙、耐磨、耐腐蚀、耐冲击、不积聚静电、易除尘清洗。