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　　缺陷:结构费用较高,弹性运用空间艰难,天花板之吊架适当占空间,修理更换过滤器较费事.3、复合式(Mixed Type)复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供部分超洁净的空气.(1)洁净地道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或作业区域100%掩盖使洁净度等级进步至10级以上,可节约安装作业费用.此型式需将作业人员之作业区与商品和机器修理予以阻隔,以机器修理时影响作业及质量.ULSI制程大都选用此种型式.洁净地道还有二项长处:A.弹性扩大简略；B.修理设备时可在修理区容易履行.

　　一、无尘车间是空气的洁净度达到一定级别的可供人活动和生产的空间，其功能是能控制微粒的污染。这表明无尘车间的洁净不是一般的干净，而是达到了一定的空气洁净度级别，在我国制行业，别的是30万级，无尘车间只能达到一定的洁净度级别还不够，例如，经过很长时间才能达到就很难满足实际应用的要求，具有控制微粒污染、抵抗外界干扰的能力，体现在有一个合理的满足实用的自净时间。二、无尘车间是一个多功能的综合整休，多功能体现在以下两个方面。1、多--建筑、空调、净化、纯水、纯气。2、多参数--空气洁净度、细菌浓度以及空气的量（风量）、压（压力）、声（噪声）、光（照度）。

　　无尘车间装修施工项目:（1）隔墙板:包括窗户、门,材料是彩钢板，但彩钢板的夹芯有很多种。（2）天花吊顶:包括吊杆、纲梁、天花板格子梁，材料一般是:彩钢板与无尘板。 3、照明器具:采用无尘灯具。（3）无尘车间制作主要包括天花吊顶、空调系统、隔断、地面、以及照明灯具。 5、地板:高架地板或防静电PVC地板或环氧树脂地板。 6、空调系统:包括主机、风管、过滤器系统、FFU等。