机台名称:等离子体清洗机

　　机台型号:PLAUX-PR06L

　　整机规格:980mm(W)×900mm(D)×1620mm(H)

　　电极规格:6层平板式电极板（420mm×360mm）

　　电源系统:13.56MHz等离子体发生源（500W，全自动阻抗匹配）

　　控制系统:触摸屏+PLC自动控制

　　进气系统:2-5路工作气体可选:Ar、N2、H2、CF4、O2

　　特点:高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。

　　用途:适用于LED、LCD、SMT领域，半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业等。

　　★LED、LCD、SMT领域:LED打线、IC封装前的清洗，LCD制造工艺中清洗偏光片、排线基位，电子元器件、光学元器件表面的清洗。

　　★硅胶、塑胶、聚合体领域:硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。