研究结果表明:

　　(1)对于厚度为100nm左右的SiO2、Al2O3薄膜，SEM-EDS成分分析技术能基本准确地表征元素的原子组成，当所测薄膜厚度小于100nm时，随着膜厚的减小，SEM-EDS技术越不能准确表征原子组成，通过研究表明，当薄膜厚度从100nm到几百纳米，SEM-EDS技术完全能胜任检测工作；

　　(2)基于SEM-EDS技术所测的标准材料的成分信息，结合一些理论和方法，还有利用计算机的超强处理能力，电子的非弹性散射平均自由程是可以得到的。

　　(3)对于多层膜的分析，通过使用不同的SEM加速电压，电子束打到不同深度，得到各元素浓度随加速电压的变化曲线，进而可以判断出哪些元素属于哪些层。

　　检测报告的检测流程如下:

　　B:根据产品测试标准给报价。

　　C:签订检测委托单（合同），并将样品送至我中心。

　　D:收到样品之后，我司与您确认检测事项，您付款。

　　E:测试结果公布，并出具权威检测报告。

　　F:我们将检测报告快递给您。

　　检测周期:1-3-5个工作日。