RTP快速退火炉的主要技术参数如下

　　加热元件:卤素电极；

　　电极数量:12支；

　　整机功率:7.2KW；

　　升温速率:200℃/Second；

　　降温速率:30秒(1000℃

　　→ 400℃)；

　　最高温度:1100℃；

　　温度精度:+/-

　　1℃；

　　最大样品尺寸:4英寸；

　　气氛环境:真空、气体（氮气、氩气、氧气）、空气；

　　真空系统:可根据实际需要选配无油机型泵或者分子泵

　　应用领域:

　　-快速热退火

　　-

　　快速热氧化

　　- 快速热氮化

　　- 硅化

　　- 扩散

　　- 化合物半导体退火

　　- 离子注入后退火

　　- 电极合金化

　　-

　　晶向化和坚化

　　- 合金熔点分析;

　　- 薄膜沉积; 等等…