详细说明
差压式气体质量流量控制器简要描述:气体质量流量控制器通过测量层流元件的差压、压力、温度来计算流量。 将计算流量值与设定流量值进行比较,采用 PID闭环控制调节阀门，使流过通道的流量与设定的流量相等。具有固有的线性,重复性好,精度高,无需预热,温漂小等特点。为模拟和数字兼容型，可通过模拟型二次表或PLC进行设定和显示瞬时流量，也可以通过RS485接口直接与计算机进行通讯。
LF-YC差压式气体质量流量控制器产品特点:
固有的线性，精度高
稳定性好，重复性好
可选模拟电路、数字电路
响应速度快，无需预热
温漂小
产品用途: 广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
技术指标
| 产品型号 | LF420-YC | LF485-YC |
| 量程范围 | 5SCCM-300SLM |
| 测控范围 | 控制器50:1 流量计100:1 |
| 准 确 度 | ±1.0% F.S |
| 线 性 | ±0.5% F.S |
| 重复精度 | ±0.2% F.S |
| 响应时间 | 100ms | 100ms |
| 数 字 量 | RS485 MODBUS协议 |
| 模 拟 量 | DC 0-5V，4-20mA（负载< 500Ω）可选 |
| 供 电 | DC +15V/+24V可选，控制器< 200mA,流量计< 50mA |
| 工作温度 | 0-50℃ |
| 工作压力 | 工作压差0.1-0.5MPa | 工作压降 < 0.01MPa |
| 最大耐压 | 1MPa |
| 电气连接 | DB15 |
| 漏 率 | 1×10-8SCC/s He |
| 底座材质 | 316L不锈钢或者铝合金 |
| 密封材料 | 氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶 |
| 气路接头 | 标配Swagelok ¢6 |