| | 基体和安装方式 | 热膨胀系数| | 基体和安装方式 | 热膨胀系数atherm | 精度等级 | | 绝对式位置测量 | | LIC用于绝对位置测量 | 钢带光栅尺穿入在铝壳中并预 紧 | 与安装面相同 | ± 5 μm | | 钢带光栅尺穿入在铝壳中并固 | 10 · 10–6K–1 | ± 15 μm | | 定 | ± 5 μm2) | | 钢带光栅尺，嵌入在安装面中 | 10 · 10–6K–1 | ± 15 μm± 5 μm2) | | | | | | | 增量式直线光栅尺 | | LIP超高精度 | Zerodur玻璃陶瓷基体，嵌入 在螺栓固定在不胀的钢基座上 | 0 · 10–6K–1 | ± 0.5 μm3) | | Zerodur玻璃陶瓷光栅尺带固 定架 | 0 · 10–6K–1 | ± 3 μm± 1 μm | | Zerodur玻璃陶瓷或玻璃基体 | 0 · 10–6K–1 或 | ± 1 μm | | 光栅带固定架 | 8 · 10–6K–1 | ± 0.5 μm3) | | 玻璃光栅尺，安装架固定 | 8 · 10–6K–1 | ± 1 μm | | LIF | Zerodur玻璃陶瓷或玻璃基体 | 0 · 10–6K–1 或 | ± 3 μm | | 高精度 | 光栅尺，通过PRECIMET背胶 | 8 · 10–6K–1 | | 固定 | | LIDA | 玻璃或玻璃陶瓷光栅尺，嵌入 | 0 · 10–6K–1 或 | ± 5 μm3) | | 用于高速运动和大测量长度 | 在安装面中 | 8 · 10–6K–1 | | 钢带光栅尺穿入在铝壳中并预 紧 | 与安装面相同 | ± 5 μm | | 钢带光栅尺穿入在铝壳中并固 | 10 · 10–6K–1 | ± 15 μm | | 定 | ± 5 μm2) | | 钢带光栅尺，嵌入在安装面中 | 10 · 10–6K–1 | ± 15 μm± 5 μm2) | | 钢带光栅尺穿入在铝壳中并固 定 | 10 · 10–6K–1 | ± 30 μm | | 钢带光栅尺，嵌入在安装面中 | 10 · 10–6K–1 | ± 30 μm | | | | | | | PP二维坐标测量 | 玻璃格栅板，全表面固定 | 8 · 10–6K–1 | ± 2 μm |
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