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　　表面处理设备关键部件

　　一、多功能离子注入技术及设备

　　多功能离子注入是一种将离子注入和增强沉积相结合的先进表面改性新技术。该设备配有多个源头，既能单独使用，也可以根据工艺要求以各种不同方式，部分或同时进行工作，从而实现对材料表面的单元、多元注入或增强沉积。被它处理过的工件，明显改善工件表面的耐磨、耐腐蚀和抗疲劳等性能，从而提高工件的使用寿命。

　　二、全方位离子注入与沉积技术及设备

　　全方位离子注入是一种先进的材料表面改性新技术。其基本原理是:将需处理的工件直接浸泡在等离子体中，在工件上施加负脉冲高压，离子通过工件周围的等离子体鞘层的加速从各个方向垂直注入工件表面，从而改变零件表面层的物理和化学特性。该设备功能强大，可以注入气体和金属离子，亦可实现增强沉积成膜，在一定深度内，形成与基本之间连续过渡的表面改性层。此改性层的结合力，远优于PVD、CVD涂层。它可明显的提高材料的耐磨、耐腐蚀等性能，从而提高其使用寿命

　　图5是示出使用根据图2的实施例的表面处理设备向部件的表面吹扫气体的步骤的视图。37.图6是示出使用根据图2的实施例的表面处理设备涂布部件的表面的步骤的视图。38.图7是示出根据本发明构思的各种实施例的部件的经清洁表面的照片。具体实施方式39.其后，将参考随附附图更详细地描述本发明构思的实施例。然而，本发明构思可以许多不同形式来体现，且不应解释为限于本文阐述的实施例。而是，提供这些实施例以便本公开内容将为彻底及的，且将为本领域普通技术人员传达本发明构思的范围。在附图中，为了阐述说明，夸大了组件的尺寸。40.图2示出根据本发明构思的实施例的表面处理设备的示意图及包括在该表面处理设备中的喷嘴的剖视图。将参考图2描述根据实施例的表面处理设备。表面处理设备包括喷嘴110、移动构件120及控制器200。

　　喷嘴110与主供应管线131连接。主供应管线131与粒子供应管线132及气体供应管线135连接。粒子供应管线132向喷嘴110供应清洁粒子1。清洁粒子储存构件140可设置在粒子供应管线132的端部处。清洁粒子储存构件140可呈漏斗的形式提供。粒子供应管线132可连接到清洁粒子储存构件140的下端。清洁粒子储存构件140可与载体气体供应管线134连接。载体气体供应管线134可向清洁粒子储存构件140供应载体气体。载体气体可携带供应到喷嘴110的清洁粒子。载体气体供应管线134可与载体气体供应150连接。载体气体可以是空气或惰性气体。气体供应管线135将气体供应到喷嘴110。气体供应管线135可与气体供应160连接。主阀131a可与主供应管线131并列设置。阀132a可与粒子供应管线132并列设置。第二阀135a可与气体供应管线135并列设置。第三阀134a可与载体气体供应管线134并列设置。加热器138可与载体气体供应管线134并列设置，且可将经供应的载体气体加热到设置温度。主阀131a、阀132a、第二阀135a及第三阀134a可仅利用打开阀/关闭阀实施，但也可利用可调节流量率的流量控制阀实施。45.虽然未图示出，但流量计可分别与主供应管线131、粒子供应管线132、气体供应管线135及载体气体供应管线134并列设置。46.控制器200可控制主阀131a、阀132a、第二阀135a、第三阀134a及移动构件120。

　　医疗器械材料的表面处理问题解决了器械与人体的生物相容性问题。微导管含有PP(聚丙烯)，因此其表面能相对较低，并且是疏水性的。经等离子清洗机处理和接枝后，包覆蛋白的附着力提高，生物材料的耐腐蚀性大大提高。生物污染——等离子清洗机的等离子可以去除油膜、显微细菌等污染物，等离子清洗机可以有效去除等离子放电附着在材料表面的污染物，去除过程中不会损伤或改变基体的性质。此外，等离子清洗技术也可用于清洗敏感仪器部件或植入物的表面。