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　　二、结构及工作原理

　　本机是一种小型的清理设备，主要由清理室、抛丸器、提升机、分离器系统、电器系统等部分组成。

　　工作原理:在清理室中加入规定数量的工件，机器启动后，工件被滚筒带动，开始翻转。同时抛丸器高效抛出弹丸形成的形束，均匀的打在工件表面上，从而达到清理和强化的目的。抛出的弹丸及砂粒经橡胶履带均匀排布的小孔流入清理室底部的钢板筛过筛，经螺旋输送器送入提升机内，由

　　提升机提到分离器中进行分离，粉尘由风机吸送至除尘器中过滤，清洁空气排入大气中，布袋上灰尘经手动振打落入除尘器下部集尘箱内，用户可定期除尘。废砂经废料管流出，用户可回用丸砂混合物由回用管回收进室体，待分离器分离后再回用干净的弹丸经供丸系统进入抛丸器抛打工件。

　　机器的安装及调整（一）1、本机出厂前已将清理室、抛丸器等部件组装成一体，整机安装时按图一，将提升机用螺栓紧固。斗式提升机安装时，应注意调整上端主动皮带轮轴承座，使之保持水平，以免皮带偏跑。然后将分离器与提升机上部用螺栓紧固。

　　2、将供丸阀门安装在分离器上，将弹丸用管插入清理室后面的钢管中，按除尘系统图连接所有的管路，分离器后的废料用户可自备废料桶处理。

　　2、开机前须先检查各紧固件是否有松动现象及机器的润滑情况是否符合要求。

　　3、该机要求装配正确，开机前应对各部件、马克等进行单独试验，各电机旋向应正确，履带提升机皮带应松紧适中，无偏跑现象。

　　4、检查各电机的空载电流，轴承升温、减速器、抛丸器是否运转正常，发现问题应及时检查原因，进行调整。

　　5、单独运转没有问题后，可依次启动除尘器、提升机、履带正转、抛丸器进行空运转试验，空运转时间为 1 小时。

　　机器的操作及注意事项

　　44.喷嘴110与主供应管线131连接。主供应管线131与粒子供应管线132及气体供应管线135连接。粒子供应管线132向喷嘴110供应清洁粒子1。清洁粒子储存构件140可设置在粒子供应管线132的端部处。清洁粒子储存构件140可呈漏斗的形式提供。粒子供应管线132可连接到清洁粒子储存构件140的下端。清洁粒子储存构件140可与载体气体供应管线134连接。载体气体供应管线134可向清洁粒子储存构件140供应载体气体。载体气体可携带供应到喷嘴110的清洁粒子。载体气体供应管线134可与载体气体供应150连接。载体气体可以是空气或惰性气体。气体供应管线135将气体供应到喷嘴110。气体供应管线135可与气体供应160连接。主阀131a可与主供应管线131并列设置。阀132a可与粒子供应管线132并列设置。第二阀135a可与气体供应管线135并列设置。第三阀134a可与载体气体供应管线134并列设置。加热器138可与载体气体供应管线134并列设置，且可将经供应的载体气体加热到设置温度。主阀131a、阀132a、第二阀135a及第三阀134a可仅利用打开阀/关闭阀实施，但也可利用可调节流量率的流量控制阀实施。45.虽然未图示出，但流量计可分别与主供应管线131、粒子供应管线132、气体供应管线135及载体气体供应管线134并列设置。46.控制器200可控制主阀131a、阀132a、第二阀135a、第三阀134a及移动构件120。

　　4． 对于一此较大钣金件来说,对材料又会造成一定的浪费时,我们要考虑将其折成几个子件分开加工,然后再将其焊在一起,即了质量,又减少了对材料的浪费,节约了成本.5. 翻边攻丝.翻边又叫抽孔,就是在一个较小的基孔上抽成一个稍大的孔,再在抽孔上攻丝.这样做可增加其强度,避免滑牙.一般用于板厚比较薄的钣金加工.当板厚较大时,如2.0、2.5等以上的板厚,我们便可直接攻丝,无须翻边.6. 合理选择间隙及包边方式:开合适的工艺孔(槽)来减小板材的拉伤,同时也方便折弯.包边的方式一般采用长边包短边的方式(视情况而定).

　　19.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子。20.在实施例中，表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器执行:控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的供应；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的表面上的残余物。21.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该主供应管线可向该喷嘴另外供应与该粒子相同或不同的第二粒子。该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的该供应，可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的该表面上的残余物；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该第二粒子以利用该第二粒子涂布该物体的该表面。22.在实施例中，该物体可以是被设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中的部件且可由涂布有y2o3的铝材料形成。23.根据实施例，提供一种用于处理待处理物体的表面的方法，其中设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中且被污染的部件作为待处理物体。该方法包括:在其中设置有该物体的气氛中形成真空且通过粒子以超音速速率与该物体的表面上的污染物碰撞来清洁该物体的该表面。24.在实施例中，该粒子可具有与该物体的涂布成分相同的成分或硬度与该物体的涂布成分的硬度相似的成分。