浙江等离子表面活化机公司在哪里

　　金属表面处理

　　金属表面处理主要是指抛光、打磨、抛丸、喷砂等金属机械加工工艺，通常是对有色金属压铸件（以铝、镁等有色金属材料为主）深加工前进行的表面预处理手段，是保证产品品质的重要环节。

　　这个过程中会产生一定量的金属或者金属与非金属的混合粉尘，当空气中这类粉尘浓度达到爆炸极限，遇到点火源（抛光、抛丸均极易产生火星）极易产生爆燃事故。特别是铝、镁粉尘及含有铝、镁等有色金属成分的混合粉尘的爆燃危害更大。

　　湿式除尘设备的过滤介质是水，因此，对于抛光、抛丸等极易产生火星的工艺来说，绝大多数情况下，通过直接灭熄点火源（火星）的湿式除尘方式，无疑是最实用、最安全、最便捷的粉尘净化方式。

　　注意的问题及要求:一般只用于钢板。铝板及铜板一般不能用，因为材料传热太快，造成切口周围融化，不能加工精度及质量。激光切割端面有一层氧化皮，酸洗不掉，有要求的切割端面要打磨；激光切割密孔变形较大，一般不用激光切割密孔。线切割是把工件和电丝（钼丝，铜丝）各作为一，并保持一定距离，在有高的电压时形成火花隙，对工件进行电蚀切割的加工方法，切除的材料由工作液带走。特点:加工精度高，但加工速度较低，成本较高，且会改变材料表面性质。一般用于模具加工，不用作加工生产用零件。有些单板型材面板的方孔没有圆角，无法铣削，又因为铝合金不能用激光切割，如果没有冲压空间不能冲压，只能采取线切割加工，速度很慢，效率低，无法适应批量生产，设计应该避免这种情况。

　　19.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子。20.在实施例中，表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器执行:控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的供应；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的表面上的残余物。21.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该主供应管线可向该喷嘴另外供应与该粒子相同或不同的第二粒子。该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的该供应，可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的该表面上的残余物；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该第二粒子以利用该第二粒子涂布该物体的该表面。22.在实施例中，该物体可以是被设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中的部件且可由涂布有y2o3的铝材料形成。23.根据实施例，提供一种用于处理待处理物体的表面的方法，其中设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中且被污染的部件作为待处理物体。该方法包括:在其中设置有该物体的气氛中形成真空且通过粒子以超音速速率与该物体的表面上的污染物碰撞来清洁该物体的该表面。24.在实施例中，该粒子可具有与该物体的涂布成分相同的成分或硬度与该物体的涂布成分的硬度相似的成分。

　　以30标准升每分钟(slm)来供应cda。确定第二清洁区域之涂布厚度减小了12μm。虽然清洁粒子1喷射到第二经清洁区域100次，但确定涂布厚度没有显著减小且仅去除了污染物。62.通过将干净干燥空气(cda)作为载体气体喷射al2o3粒子50次来清洁第三清洁区域。以30标准升每分钟(slm)来供应cda。确定第三清洁区域的涂布厚度减小了4μm。63.在清洁之后，经清洁表面可将干净干燥空气(cda)作为载体气体用y2o3来涂布。例如，涂布粒子可作为具有几μm或更小的粒子的粉末提供，且可以不同的设置其中储存涂布粒子的粒子储存构件及其中储存清洁粒子的粒子储存构件。64.与常规研磨清洁方法中的厚度减小相比，根据本发明构思的实施例的厚度减小小。例如，在研磨的情况下，涂布厚度减小了20μm，然而在本发明构思的实施例中，图7中第二清洁区域中的涂布厚度减小了12μm。因此，部件的涂布效能可保留更长的时间。此外，根据本发明构思的实施例，通过控制粒子的大小、粒子的类型及喷射速度，经由喷嘴供应的粒子可适用于清洁粒子及涂布粒子。