安徽等离子电浆抛光机厂家定制

　　常见湿式除尘设备特点

　　正压送风喷淋逆洗式除尘装置（AQ 4272-2016 标准已经明确禁止）

　　这种装置结构简单，投资成本低，被抛光行业特别是小企业大量应用。

　　但是，环保不达标、腔体内容易聚集氢气、耗水量大、污水难以处理。

　　目前已经被国家标准严禁使用，但仍被一些企业违规使用。

　　喷淋洗涤塔

　　（包括填料塔、湍球塔）

　　主要应用在电子、化工等工艺产生的酸碱废气的酸碱中和，可以附带处理浓度不高的粉尘，或者作为主除尘设备的前端预处理设备。

　　应用在铝镁抛光粉尘处理方面注意事项:喷淋装置对喷淋头品质、水压、水质要求较高。过滤效率较低，适用于粉尘浓度很低的粉尘，如果粉尘含有布轮、 轮等纤维状粉尘及抛光膏、抛光蜡等成分，粉尘与填充层接触易堵塞不易清理、污染物处理繁琐、占地空间大、有爆炸风险。

　　在粉尘产生量不高、经济承受能力不强的企业中有一定市场。

　　水幕式湿式除尘装置

　　这种装置结构简单、投资成本低，在个别大工件抛光打磨和喷漆类小企业有应用。

　　但是，过滤效率低、耗水量大、污水难以处理。目前被个别应用在抛光打磨工位前的预处理，主要用来灭熄火星和吸收少量粉尘。受末端风机风量变化的影响，水幕很难稳定形成对除尘口的全覆盖，作为预处理，未能过滤的粉尘受潮极易吸附在除尘管道上，挂壁沉积甚至板结，反而影响整体的吸尘效果。

　　在粉尘产生量低、经济承受能力不强的企业中有一定市场。

　　19.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子。20.在实施例中，表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器执行:控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的供应；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的表面上的残余物。21.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该主供应管线可向该喷嘴另外供应与该粒子相同或不同的第二粒子。该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的该供应，可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的该表面上的残余物；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该第二粒子以利用该第二粒子涂布该物体的该表面。22.在实施例中，该物体可以是被设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中的部件且可由涂布有y2o3的铝材料形成。23.根据实施例，提供一种用于处理待处理物体的表面的方法，其中设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中且被污染的部件作为待处理物体。该方法包括:在其中设置有该物体的气氛中形成真空且通过粒子以超音速速率与该物体的表面上的污染物碰撞来清洁该物体的该表面。24.在实施例中，该粒子可具有与该物体的涂布成分相同的成分或硬度与该物体的涂布成分的硬度相似的成分。

　　表面处理设备包括支承待清洁的物体10的支座(未示出)。表面处理设备可包括提供处理空间的腔室(未示出)。腔室(未示出)的处理空间可处于真空气氛下。例如，腔室(未示出)的处理空间可与排气管线(未示出)连接，且处理空间中的气氛可经由连接到排气管线(未示出)的真空泵(未示出)被抽空。因此，可在处理空间中形成真空气氛。待清洁的物体10可放置在真空气氛中。待清洁的物体10可在真空气氛中被处理。41.喷嘴110直接或间接地耦合到移动构件120且可在x轴方向、y轴方向或z轴方向上移动。例如，移动构件120可利用在x轴方向、y轴方向或z轴方向上可移动的移动级(moving stage)来实施。可替代地，移动构件120可利用机械臂来实施。42.虽然移动构件120示出为与喷嘴110直接或间接地耦合，但移动构件120可被配置为相对于喷嘴110移动物体10。例如，移动构件120可被配置为在x轴方向、y轴方向或z轴方向上移动支承待处理物体10的支座(未示出)，且可以相对于喷嘴110移动物体10。43.喷嘴110利用超音速喷嘴实施且以超音速速率喷射清洁粒子1，该清洁粒子1将在下文描述。超音速喷嘴可通过各种已知文件引用。喷嘴110可定位成朝向待清洁的物体10的表面。污染物20可沉积在物体10上，以形成薄膜。

　　电镀技术: 电解电镀；电解技术用化学品；电解技术设备(离心机；配料设备；空气和排放物净化系统和设备；过滤器；装载和卸载设备；大规模电镀用设备；开路控制系统；再生系统；整流和电开关系统；其他)；电解技术用化学和电解系统上漆及施加塑料和橡胶涂层: 涂层和涂层材料(电沉积喷涂用涂料；涂层烧结和上漆颜料；溶剂涂料和油漆；水性涂料和油漆；低溶剂含量的涂料和油漆；粉剂涂料；丙烯酸有机硅涂料；油质清漆；橡胶涂料；塑料涂层)；施加涂层用的设备(手持和自动喷枪；喷涂房、密闭室、过滤墙；上漆及施加塑料和橡胶涂层的自动化设备；上漆及施加塑料和橡胶涂层的完整喷涂系统；上漆及干燥台；沉浸式涂漆机器与设备；沉浸式涂漆用电镀设备；镀膜机器；流动涂附设备；施加塑料及橡胶用机器；粉末喷涂设备；丝网印刷机；喷涂机；真空浸渍设备；镀膜烧结设备)；提供材料和辅助的设备(上漆准备用设备；过滤器和过滤设备；材料循环设备；辅料配料设备；压力池；辅料泵)；吸收、分离和恢复涂层材料和溶剂的设备；干燥设备(离心干燥机；对流干燥机；电子干燥机；上釉炉；辐射干燥机；紫外线干燥机；真空干燥设备；排水装置)