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　　金属表面处理

　　金属表面处理主要是指抛光、打磨、抛丸、喷砂等金属机械加工工艺，通常是对有色金属压铸件（以铝、镁等有色金属材料为主）深加工前进行的表面预处理手段，是保证产品品质的重要环节。

　　这个过程中会产生一定量的金属或者金属与非金属的混合粉尘，当空气中这类粉尘浓度达到爆炸极限，遇到点火源（抛光、抛丸均极易产生火星）极易产生爆燃事故。特别是铝、镁粉尘及含有铝、镁等有色金属成分的混合粉尘的爆燃危害更大。

　　湿式除尘设备的过滤介质是水，因此，对于抛光、抛丸等极易产生火星的工艺来说，绝大多数情况下，通过直接灭熄点火源（火星）的湿式除尘方式，无疑是最实用、最安全、最便捷的粉尘净化方式。

　　表面处理设备关键部件一、多功能离子注入技术及设备多功能离子注入是一种将离子注入和增强沉积相结合的表面改性新技术。该设备配有多个源头，既能单独使用，也可以根据工艺要求以各种不同方式，部分或同时进行工作，从而实现对材料表面的单元、多元注入或增强沉积。被它处理过的工件，明显改善工件表面的耐磨、耐腐蚀和抗疲劳等性能，从而提高工件的使用寿命。二、离子注入与沉积技术及设备离子注入是一种的材料表面改性新技术。其基本原理是:将需处理的工件直接浸泡在等离子体中，在工件上施加负脉冲高压，离子通过工件周围的等离子体鞘层的加速从各个方向垂直注入工件表面，从而改变零件表面层的物理和化学特性。该设备功能强大，可以注入气体和金属离子，亦可实现增强沉积成膜，在一定深度内，形成与基本之间连续过渡的表面改性层。此改性层的结合力，远优于PVD、CVD涂层。它可明显的提高材料的耐磨、耐腐蚀等性能，从而提高其使用寿命。

　　以30标准升每分钟(slm)来供应cda。确定第二清洁区域之涂布厚度减小了12μm。虽然清洁粒子1喷射到第二经清洁区域100次，但确定涂布厚度没有显著减小且仅去除了污染物。62.通过将干净干燥空气(cda)作为载体气体喷射al2o3粒子50次来清洁第三清洁区域。以30标准升每分钟(slm)来供应cda。确定第三清洁区域的涂布厚度减小了4μm。63.在清洁之后，经清洁表面可将干净干燥空气(cda)作为载体气体用y2o3来涂布。例如，涂布粒子可作为具有几μm或更小的粒子的粉末提供，且可以不同的设置其中储存涂布粒子的粒子储存构件及其中储存清洁粒子的粒子储存构件。64.与常规研磨清洁方法中的厚度减小相比，根据本发明构思的实施例的厚度减小小。例如，在研磨的情况下，涂布厚度减小了20μm，然而在本发明构思的实施例中，图7中第二清洁区域中的涂布厚度减小了12μm。因此，部件的涂布效能可保留更长的时间。此外，根据本发明构思的实施例，通过控制粒子的大小、粒子的类型及喷射速度，经由喷嘴供应的粒子可适用于清洁粒子及涂布粒子。

　　因此，在清洁待清洁的物体的表面之后，能够持续执行沉积，且因此提高生产力。65.此外，根据本发明构思的实施例，涂布步骤是在清洁步骤之后执行。因此，可保持对初始涂布薄膜的损失厚度及表面粗糙度的补偿，且因此当安装半导体处理腔室时，可能使受到遭遇初始条件困扰的发生小化。66.如上所述，根据本发明构思的实施例，表面处理设备及方法可以地清洁部件。67.根据本发明构思的实施例，与相关技术相比，表面处理设备及方法可降低在部件的清洁过程中涂布厚度的减小。68.根据本发明构思的实施例，与相关技术相比，表面处理设备及方法可降低在部件的清洁过程中表面平均粗糙度的减小。69.根据本发明构思的实施例，表面处理设备及方法可通过清洁部件并持续涂布部件来降低花费在使部件再生上的时间。70.根据本发明构思的实施例，表面处理设备及方法可以在不使用诸如酸性化学处理或碱性化学处理的化学处理过程的情况下环境友好地使部件再生。71.本发明构思的功效并不限制于前述功效，且本文未提及的其他功效可由本发明构思涉及的那些本领域普通技术人员从该说明书及附图中充分理解。