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　　1.表面处理生产线废水处理装置，包括蒸发器；其特征在于还包括物理过滤机构、超滤机构、第一反渗透机构、化学过滤机构、海水淡化机构、产水箱、第二反渗透机构和回用水箱；所述物理过滤机构与超滤机构相连，超滤机构与第一反渗透机构相连，第一反渗透机构与产水箱和化学过滤机构相连，化学过滤机构与产水箱和海水淡化机构相连，海水淡化机构与产水箱和所述蒸发器相连；所述产水箱与第二反渗透机构相连，第二反渗透机构与回用水箱相连，所述蒸发器与产水箱相连。

　　2.如权利要求1所述的表面处理生产线废水处理装置，其特征在于所述物理过滤机构包括石英砂过滤器和活性炭过滤器，所述石英砂过滤器与活性炭过滤器相连，活性炭过滤器与所述超滤机构相连。

　　3.如权利要求1或2所述的表面处理生产线废水处理装置，其特征在于所述化学过滤机构包括第一纳滤器和第二纳滤器，所述第一反渗透机构与第一纳滤器相连，第一纳滤器与第二纳滤器和产水箱相连，第二纳滤器与海水淡化机构和产水箱相连。

　　13、IMD又分为IML、IMR，这两种工艺的大区别就是产品表面是否有一层透明的保护薄膜。IML的中文名称:模内镶件注塑其工艺显著的特点是:表面是一层硬化的透明薄膜，中间是印刷图案层，背面是塑胶层，由于油墨夹在中间，可使产品表面被刮花和耐磨擦，并可长期保持颜的鲜明不易退。IMR的中文名称:模内转印此工艺是将图案印刷在薄膜上，通过送膜机将膜片与塑模型腔贴合进行注塑，注塑后有图案的油墨层与薄膜分离，油墨层留在塑件上而得到表面有装饰图案的塑件，在的产品表面是没有一层透明的保护膜，膜片只是生产过程中的一个载体。但IMR的优势在于生产时的自动化程度高和大批量生产的成本较低。IMR的缺点:印刷

　　19.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子。20.在实施例中，表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器执行:控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的供应；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的表面上的残余物。21.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该主供应管线可向该喷嘴另外供应与该粒子相同或不同的第二粒子。该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的该供应，可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的该表面上的残余物；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该第二粒子以利用该第二粒子涂布该物体的该表面。22.在实施例中，该物体可以是被设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中的部件且可由涂布有y2o3的铝材料形成。23.根据实施例，提供一种用于处理待处理物体的表面的方法，其中设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中且被污染的部件作为待处理物体。该方法包括:在其中设置有该物体的气氛中形成真空且通过粒子以超音速速率与该物体的表面上的污染物碰撞来清洁该物体的该表面。24.在实施例中，该粒子可具有与该物体的涂布成分相同的成分或硬度与该物体的涂布成分的硬度相似的成分。

　　表面处理设备包括支承待清洁的物体10的支座(未示出)。表面处理设备可包括提供处理空间的腔室(未示出)。腔室(未示出)的处理空间可处于真空气氛下。例如，腔室(未示出)的处理空间可与排气管线(未示出)连接，且处理空间中的气氛可经由连接到排气管线(未示出)的真空泵(未示出)被抽空。因此，可在处理空间中形成真空气氛。待清洁的物体10可放置在真空气氛中。待清洁的物体10可在真空气氛中被处理。41.喷嘴110直接或间接地耦合到移动构件120且可在x轴方向、y轴方向或z轴方向上移动。例如，移动构件120可利用在x轴方向、y轴方向或z轴方向上可移动的移动级(moving stage)来实施。可替代地，移动构件120可利用机械臂来实施。42.虽然移动构件120示出为与喷嘴110直接或间接地耦合，但移动构件120可被配置为相对于喷嘴110移动物体10。例如，移动构件120可被配置为在x轴方向、y轴方向或z轴方向上移动支承待处理物体10的支座(未示出)，且可以相对于喷嘴110移动物体10。43.喷嘴110利用超音速喷嘴实施且以超音速速率喷射清洁粒子1，该清洁粒子1将在下文描述。超音速喷嘴可通过各种已知文件引用。喷嘴110可定位成朝向待清洁的物体10的表面。污染物20可沉积在物体10上，以形成薄膜。