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　　等离子表面处理设备

　　等离子表面处理设备广泛应用于金属、微电子、聚合物、生物功能材料、低温灭菌及污染治理等多种领域，是企业、科研院所进行等离子体表面处理的理想设备。

　　等离子处理机

　　等离子处理机具有高稳定性、高性价比、高均匀性等诸多优点。与传统的方法相比，等离子表面处理设备具有成本低、无废弃物、无污染等显著的优点。

　　等离子清洗机

　　等离子清洗机是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。

　　真空等离子清洗机

　　真空等离子清洗机是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质，等离子体在电磁场内空间运动，并轰击被处理物体表面，达到表面处理、清洗和刻蚀效果。

　　低温等离子处理设备

　　低温等离子设备已在传统和高技术领域被广泛运用于金属、微电子、聚合物、生物功能材料、低温灭菌及污染治理等多种领域。类型有:水平式低温等离子设备、卷对卷式低温等离子设备

　　容易、拆卸方便、操作简单等优点,常用于可拆的钢结构连接.它可分为螺钉联接和螺栓联接.铆接是用铆钉将金属结构的零件或组合件连接在一起的方法，铆钉种类较多，常用的铆钉有封闭形圆头抽芯铆钉、封闭形沉头抽芯铆钉及开口型圆头抽芯铆钉、开口型沉头抽芯铆钉。四.钣金表面处理方式表面处理.表面处理一般有磷化皮膜、电镀五彩锌、铬酸盐、烤漆、氧化等.磷化皮膜一般用于冷轧板和电解板类,其作用主要是在料件表上镀上一层保护膜,氧化；再来就是可增强其烤漆的附着力.电镀五彩锌一般用冷轧板类表面处理;铬酸盐、氧化一般用于铝板及铝型材类表面处理;其具体表面处理方式的选用，是根据产品的要求而定。

　　其中，所述物理过滤机构包括石英砂过滤器和活性炭过滤器，所述石英砂过滤器与活性炭过滤器相连，活性炭过滤器与所述超滤机构相连。所述化学过滤机构包括纳滤器和第二纳滤器，所述反渗透机构与纳滤器相连，纳滤器与第二纳滤器和产水箱相连，第二纳滤器与海水淡化机构和产水箱相连。采取以上方案，具有以下优点:由于本实用新型的表面处理生产线废水处理装置的物理过滤机构与超滤机构相连，超滤机构与反渗透机构相连，反渗透机构与产水箱和化学过滤机构相连，化学过滤机构与产水箱和海水淡化机构相连，海水淡化机构与产水箱和所述蒸发器相连，产水箱与第二反渗透机构相连，第二反渗透机构与回用水箱相连，所述蒸发器与产水箱相连。使用时，先将表面处理生产线产生的重金属废水经过物理过滤机构和超滤机构过滤后，送入到反渗透机构中；接着，反渗透机构对废水进行反渗透处理，得到一次浓水和清水，清水进入到产水箱中，一次浓水进入到化学过滤机构中；然后，一次浓水在化学过滤机构中进行过滤，得到化学过滤后的浓水和清水，清水进入到产水箱中，化学过滤后的浓水进入到海水淡化机构中；之后，海水淡化机构对化学过滤后的浓水进行处理，得到四次浓水和清水，清水进入到产水箱中，四次浓水进入到蒸发器中；之后，蒸发器对四次浓水进行蒸发处理，得到结晶和冷凝水，结晶外运到有相应处理资质的公司，冷凝水进入到产水箱中。当产水箱中的清水和冷凝水达到一定程度后，产水箱中水经过第二反渗透机构和回用水箱返回生产线重复利用。采用这种废水处理装置进入到蒸发器中的浓水大约是总废水量的5%，大大降低了蒸汽器的蒸发量，进而减少了能源的消耗和废气的排放，从而减小环境污染。

　　19.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子。20.在实施例中，表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器执行:控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的供应；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的表面上的残余物。21.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该主供应管线可向该喷嘴另外供应与该粒子相同或不同的第二粒子。该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的该供应，可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的该表面上的残余物；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该第二粒子以利用该第二粒子涂布该物体的该表面。22.在实施例中，该物体可以是被设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中的部件且可由涂布有y2o3的铝材料形成。23.根据实施例，提供一种用于处理待处理物体的表面的方法，其中设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中且被污染的部件作为待处理物体。该方法包括:在其中设置有该物体的气氛中形成真空且通过粒子以超音速速率与该物体的表面上的污染物碰撞来清洁该物体的该表面。24.在实施例中，该粒子可具有与该物体的涂布成分相同的成分或硬度与该物体的涂布成分的硬度相似的成分。