湖南低压真空机设计方案

　　本实用新型涉及一种废水处理装置，具体说是表面处理生产线废水处理装置。它包括蒸发器。其特点是还包括物理过滤机构、超滤机构、第一反渗透机构、化学过滤机构、海水淡化机构、产水箱、第二反渗透机构和回用水箱；所述物理过滤机构与超滤机构相连，超滤机构与第一反渗透机构相连，第一反渗透机构与产水箱和化学过滤机构相连，化学过滤机构与产水箱和海水淡化机构相连，海水淡化机构与产水箱和所述蒸发器相连；所述产水箱与第二反渗透机构相连，第二反渗透机构与回用水箱相连，所述蒸发器与产水箱相连。采用高处理装置可减少能源消耗，减小环境污染。

　　19.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子。20.在实施例中，表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器执行:控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的供应；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的表面上的残余物。21.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该主供应管线可向该喷嘴另外供应与该粒子相同或不同的第二粒子。该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的该供应，可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的该表面上的残余物；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该第二粒子以利用该第二粒子涂布该物体的该表面。22.在实施例中，该物体可以是被设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中的部件且可由涂布有y2o3的铝材料形成。23.根据实施例，提供一种用于处理待处理物体的表面的方法，其中设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中且被污染的部件作为待处理物体。该方法包括:在其中设置有该物体的气氛中形成真空且通过粒子以超音速速率与该物体的表面上的污染物碰撞来清洁该物体的该表面。24.在实施例中，该粒子可具有与该物体的涂布成分相同的成分或硬度与该物体的涂布成分的硬度相似的成分。

　　气体可以是与载体气体相同类型的气体且可以是惰性气体或空气。根据本发明构思的实施例，将具有与涂布薄膜的表面的硬度相似的硬度的粉末而不是诸如氩气或二氧化碳的精细粒子用作清洁粒子1，且因此清洁粒子1在与污染物20碰撞后不会升华。清洁粒子1残留在物体10的表面上的未经升华的残余物及污染物的残余物可通过气体吹扫从物体10的表面去除。经吹扫残余物可经由排气管线(未示出)释放。56.参考图6，主阀131a、阀132a及第三阀134a打开，且第二阀135a关闭。清洁粒子1喷射在物体10的经清洁表面。在该步骤中，清洁粒子1作为涂布粒子。57.通过控制清洁粒子1周围的气氛或载体气体的温度、喷嘴110喷射清洁粒子1时的压力及清洁粒子1的粒径，将清洁粒子1沉积在物体10的经清洁表面上。虽然在图6的实施例中已经描了清洁粒子1作为涂布粒子提供，但涂布粒子可与在清洁过程中使用的清洁粒子不同。如上所述，当经由喷嘴110单独供应两种或更多种类型的粒子时，可进一步提供连接到主供应管线131以供应不同粒子的附加的供应管线。58.图7是示出根据本发明构思的各种实施例的部件的经清洁表面的照片。59.清洁区域、第二清洁区域及第三清洁区域分别在不同条件下被清洁，且确定在情况下都存在清洁力。60.通过将干净干燥空气(clean dry air；cda)作为载体气体喷射y2o3粒子50次来清洁清洁区域。以30标准升每分钟(slm)来供应cda。确定清洁区域的涂布厚度减小了10μm。61.通过将干净干燥空气(cda)作为载体气体喷射y2o3粒子100次来清洁第二清洁区域。

　　钣金联接主工采用焊接、螺纹联接、铆接和粘接.我们公司采用的联接方式:焊接、螺纹联接观察钣金件焊接，可以注意到很多钣金件焊接的结构和要注意的尺寸。1.焊接 是对焊件进行部或整体加热或使焊件产生塑性变形，或加热与塑性变形同时进行,实现永久连接的工艺方法.可分为:手工电弧焊、气体保护电弧焊、激光焊、气焊、段焊和接触焊.我们公司主要采用气体保护焊（氩气和二氧化碳保护焊）和点焊。1.1气体保护电弧焊 在进体保护电弧焊时,电电弧区及焊接熔池都处在保护气体的保护下.采用氩气保护焊缝表面没有氧化物及夹杂物.可以在空间位置施焊,可以用肉眼观察焊缝的成形过程并进行调整，生产效率高.