广东等离子抛光设备销售厂家电话

　　表面处理设备关键部件

　　一、多功能离子注入技术及设备

　　多功能离子注入是一种将离子注入和增强沉积相结合的先进表面改性新技术。该设备配有多个源头，既能单独使用，也可以根据工艺要求以各种不同方式，部分或同时进行工作，从而实现对材料表面的单元、多元注入或增强沉积。被它处理过的工件，明显改善工件表面的耐磨、耐腐蚀和抗疲劳等性能，从而提高工件的使用寿命。

　　二、全方位离子注入与沉积技术及设备

　　全方位离子注入是一种先进的材料表面改性新技术。其基本原理是:将需处理的工件直接浸泡在等离子体中，在工件上施加负脉冲高压，离子通过工件周围的等离子体鞘层的加速从各个方向垂直注入工件表面，从而改变零件表面层的物理和化学特性。该设备功能强大，可以注入气体和金属离子，亦可实现增强沉积成膜，在一定深度内，形成与基本之间连续过渡的表面改性层。此改性层的结合力，远优于PVD、CVD涂层。它可明显的提高材料的耐磨、耐腐蚀等性能，从而提高其使用寿命

　　硅胶制品等离子体设备表面活化处理是一种绿表面处理工艺，可以合理有效地处理硅胶制品的静电能量，易接触粉尘，提高硅胶制品表层亲水性，促进材料的粘接效果和涂装效果，延长设备使用寿命。金徕等离子设备可广泛应用于硅胶制品及相关产品。等离子体是根据高压产生的。等离子体设备轰击材料表层，产生各种物理化学、氧化反应或表层干法刻蚀但不光滑，或产生紧密的化学交联层，或引入含氧性基团使表层亲水性、粘附性、可染性，引入各种含氧基团使表层由非性、难粘附性转变为一定性、易粘附性、亲水性，有利于粘附、涂布和包装印刷。

　　金属产品热处理和表面热化学处理: 涂层材料、涂层和辅助材料；金属产品深度热处理和热化学表面处理用设备(热处理操作用热炉和装置；冷却用和洗涤变化物用设备(容器、液体容器及其它)；电感应加热器；设备用辅助配件)；热处理和热化学表面处理技术(非扩散性表面处理；扩散性表面处理；扩散性金属化处理；热喷涂技术与设备；电火花喷涂应用技术；等离子技术；薄膜科技；CVD(化学气相沉积)技术；PVD(物相沉积)技术；聚束技术；离子注入技术；电子技术；激光技术；爆炸技术；热处理机械化与自动化生产线)

　　19.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子。20.在实施例中，表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器执行:控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的供应；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的表面上的残余物。21.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该主供应管线可向该喷嘴另外供应与该粒子相同或不同的第二粒子。该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的该供应，可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的该表面上的残余物；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该第二粒子以利用该第二粒子涂布该物体的该表面。22.在实施例中，该物体可以是被设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中的部件且可由涂布有y2o3的铝材料形成。23.根据实施例，提供一种用于处理待处理物体的表面的方法，其中设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中且被污染的部件作为待处理物体。该方法包括:在其中设置有该物体的气氛中形成真空且通过粒子以超音速速率与该物体的表面上的污染物碰撞来清洁该物体的该表面。24.在实施例中，该粒子可具有与该物体的涂布成分相同的成分或硬度与该物体的涂布成分的硬度相似的成分。