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　　1.表面处理生产线废水处理装置，包括蒸发器；其特征在于还包括物理过滤机构、超滤机构、第一反渗透机构、化学过滤机构、海水淡化机构、产水箱、第二反渗透机构和回用水箱；所述物理过滤机构与超滤机构相连，超滤机构与第一反渗透机构相连，第一反渗透机构与产水箱和化学过滤机构相连，化学过滤机构与产水箱和海水淡化机构相连，海水淡化机构与产水箱和所述蒸发器相连；所述产水箱与第二反渗透机构相连，第二反渗透机构与回用水箱相连，所述蒸发器与产水箱相连。

　　2.如权利要求1所述的表面处理生产线废水处理装置，其特征在于所述物理过滤机构包括石英砂过滤器和活性炭过滤器，所述石英砂过滤器与活性炭过滤器相连，活性炭过滤器与所述超滤机构相连。

　　3.如权利要求1或2所述的表面处理生产线废水处理装置，其特征在于所述化学过滤机构包括第一纳滤器和第二纳滤器，所述第一反渗透机构与第一纳滤器相连，第一纳滤器与第二纳滤器和产水箱相连，第二纳滤器与海水淡化机构和产水箱相连。

　　原料粒子的尺寸可为几μm，且通过使原料颗粒粒化所获得的清洁粒子1的尺寸可为几十μm。例如，清洁粒子1的尺寸(大小)可在几μm至100μm的范围内。清洁粒子1的尺寸(大小)可优选地在20μm至50μm的范围内。当原料颗粒被粒化且大小变大时，碰撞能量可能增强。清洁粒子1的大小及形状可根据涂布薄膜及污染物薄膜的硬度来不同地设置。49.图3是示出根据本发明构思的实施例的表面处理方法的流程图。将参考图3描述根据实施例的表面处理方法。50.根据实施例的表面处理方法包括:拆卸待清洁的部件的步骤(s10)；通过在真空中经由超音速喷嘴110喷射清洁粒子来清洁部件的步骤(s20)；通过向已清洁部件吹扫气体来去除经清洁部件的表面上的灰尘的步骤(s30)；及重新涂布经清洁部件的表面的步骤(s40)。51.图4是示出使用根据图2的实施例的表面处理设备清洁部件的表面的步骤的视图。图5是示出使用根据图2的实施例的表面处理设备来向部件的表面吹扫气体的步骤的视图。图6是示出使用根据图2的实施例的表面处理设备来涂布部件的表面的步骤的视图。

　　25.在实施例中，该粒子可包括y2o3、al2o3、yag、ysz及zr2o3中的一者或多者。26.在实施例中，该粒子可由原料粒子被粒化而成或可以粉末状态提供。27.在实施例中，该粒子可具有几μm至100μm之大小。28.在实施例中，该粒子可与载体气体一起供应。29.在实施例中，该方法可进一步包括:在清洁该物体的该表面之后停止该等粒子的供应，且通过向该物体的经清洁表面吹扫气体来去除残留在该物体的表面上的残余物。30.在实施例中，该方法可进一步包括:在去除残留在该物体的该表面上的该残余物之后，通过与该粒子相同或不同的第二粒子与该物体的表面的碰撞，用该第二粒子涂布该物体的表面。附图说明31.结合以下随附附图，上述及其他目的及特征根据以下描述将变得显而易见，其中除非另外说明，贯穿整个各个附图，相似的附图标记是指相似的部件，且附图如下:32.图1是示出通过在阳氧化铝合金基底材料上执行aps涂布获得的部件在干蚀刻过程中使用达约600小时之后的状态的照片。33.图2示出根据本发明构思的实施例的表面处理设备的示意图及包括在该表面处理设备中的喷嘴的剖视图。34.图3是示出根据本发明的实施例的表面处理方法的流程图。35.图4是示出使用根据图2的实施例的表面处理设备清洁部件的表面的步骤的视图。

　　44.喷嘴110与主供应管线131连接。主供应管线131与粒子供应管线132及气体供应管线135连接。粒子供应管线132向喷嘴110供应清洁粒子1。清洁粒子储存构件140可设置在粒子供应管线132的端部处。清洁粒子储存构件140可呈漏斗的形式提供。粒子供应管线132可连接到清洁粒子储存构件140的下端。清洁粒子储存构件140可与载体气体供应管线134连接。载体气体供应管线134可向清洁粒子储存构件140供应载体气体。载体气体可携带供应到喷嘴110的清洁粒子。载体气体供应管线134可与载体气体供应150连接。载体气体可以是空气或惰性气体。气体供应管线135将气体供应到喷嘴110。气体供应管线135可与气体供应160连接。主阀131a可与主供应管线131并列设置。阀132a可与粒子供应管线132并列设置。第二阀135a可与气体供应管线135并列设置。第三阀134a可与载体气体供应管线134并列设置。加热器138可与载体气体供应管线134并列设置，且可将经供应的载体气体加热到设置温度。主阀131a、阀132a、第二阀135a及第三阀134a可仅利用打开阀/关闭阀实施，但也可利用可调节流量率的流量控制阀实施。45.虽然未图示出，但流量计可分别与主供应管线131、粒子供应管线132、气体供应管线135及载体气体供应管线134并列设置。46.控制器200可控制主阀131a、阀132a、第二阀135a、第三阀134a及移动构件120。