山西抛丸机设计方案

　　1.表面处理生产线废水处理装置，包括蒸发器；其特征在于还包括物理过滤机构、超滤机构、第一反渗透机构、化学过滤机构、海水淡化机构、产水箱、第二反渗透机构和回用水箱；所述物理过滤机构与超滤机构相连，超滤机构与第一反渗透机构相连，第一反渗透机构与产水箱和化学过滤机构相连，化学过滤机构与产水箱和海水淡化机构相连，海水淡化机构与产水箱和所述蒸发器相连；所述产水箱与第二反渗透机构相连，第二反渗透机构与回用水箱相连，所述蒸发器与产水箱相连。

　　2.如权利要求1所述的表面处理生产线废水处理装置，其特征在于所述物理过滤机构包括石英砂过滤器和活性炭过滤器，所述石英砂过滤器与活性炭过滤器相连，活性炭过滤器与所述超滤机构相连。

　　3.如权利要求1或2所述的表面处理生产线废水处理装置，其特征在于所述化学过滤机构包括第一纳滤器和第二纳滤器，所述第一反渗透机构与第一纳滤器相连，第一纳滤器与第二纳滤器和产水箱相连，第二纳滤器与海水淡化机构和产水箱相连。

　　20、性和电镀缘性；良好吸附能力，它能染成各种颜；较好的遮盖能力，故对制件表面机械加工要求较低。适用于各种仪器、仪表、电子仪器上的零件，外观件以及日用品、食品用具的表面防护装饰层。（2）红宝石膜氧化法日本近来研究成阳氧化合成红宝石膜新工艺，该工艺所得膜层外形及光学性能为，用于光学、装饰等方面。这是一项新颖工艺、具有广泛应用前景的工艺方法。其方法是，首先采用常规阳批发价格多孔膜（为无定形的AL2O3），并使多孔膜吸附铬离子，然后将吸附了铬离子的氧化膜在酸式硫酸盐熔盐中进行二次阳氧化，借助于二次电解，使氧化膜结构从无定形向酇L2O3过渡，从而获得红宝石膜。铝氧化膜的颜主要有:淡紫红、浅

　　19.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子。20.在实施例中，表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器执行:控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的供应；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的表面上的残余物。21.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该主供应管线可向该喷嘴另外供应与该粒子相同或不同的第二粒子。该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的该供应，可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的该表面上的残余物；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该第二粒子以利用该第二粒子涂布该物体的该表面。22.在实施例中，该物体可以是被设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中的部件且可由涂布有y2o3的铝材料形成。23.根据实施例，提供一种用于处理待处理物体的表面的方法，其中设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中且被污染的部件作为待处理物体。该方法包括:在其中设置有该物体的气氛中形成真空且通过粒子以超音速速率与该物体的表面上的污染物碰撞来清洁该物体的该表面。24.在实施例中，该粒子可具有与该物体的涂布成分相同的成分或硬度与该物体的涂布成分的硬度相似的成分。

　　44.喷嘴110与主供应管线131连接。主供应管线131与粒子供应管线132及气体供应管线135连接。粒子供应管线132向喷嘴110供应清洁粒子1。清洁粒子储存构件140可设置在粒子供应管线132的端部处。清洁粒子储存构件140可呈漏斗的形式提供。粒子供应管线132可连接到清洁粒子储存构件140的下端。清洁粒子储存构件140可与载体气体供应管线134连接。载体气体供应管线134可向清洁粒子储存构件140供应载体气体。载体气体可携带供应到喷嘴110的清洁粒子。载体气体供应管线134可与载体气体供应150连接。载体气体可以是空气或惰性气体。气体供应管线135将气体供应到喷嘴110。气体供应管线135可与气体供应160连接。主阀131a可与主供应管线131并列设置。阀132a可与粒子供应管线132并列设置。第二阀135a可与气体供应管线135并列设置。第三阀134a可与载体气体供应管线134并列设置。加热器138可与载体气体供应管线134并列设置，且可将经供应的载体气体加热到设置温度。主阀131a、阀132a、第二阀135a及第三阀134a可仅利用打开阀/关闭阀实施，但也可利用可调节流量率的流量控制阀实施。45.虽然未图示出，但流量计可分别与主供应管线131、粒子供应管线132、气体供应管线135及载体气体供应管线134并列设置。46.控制器200可控制主阀131a、阀132a、第二阀135a、第三阀134a及移动构件120。