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　　文氏管除尘器结构简单，维护管理容易，过滤效率较高。压力稳定但压力损失大，耗水量较大，高压喷水装置对水质要求较高，喷水装置容易产生故障影响除尘效率，垃圾处理相对繁琐。

　　目前，该装置更多地被用来处理热处理过程中产生的高温油脂烟气。

　　适用于自身要求较高、经济承受能力较强的企业。

　　涡旋式（自激式）湿式除尘器

　　压力稳定，过滤效率较高，适用范围广，维护简便，故障隐患点少，运行成本较低，耗水量不高，对水源水质要求不高。自动清淤装置解决了污染物难以收集的问题，特别适用于抛光、抛丸等金属表面处理工艺。但机体结构较其它湿式除尘设备复杂、成本较高。由于技术领先，具有较好的发展前景。

　　适用于自身要求较高、经济承受能力较强的企业。

　　选配除尘设备注意事项

　　含有抛光膏和纤维粉尘的铝镁抛光粉尘

　　这类粉尘有一定的粘性，极易在管道挂壁，粉尘容易悬浮在水面影响过滤效率。尽可能缩短甚至取消收尘管道，直接选用高过滤效率、可以及时消除粉尘张力的湿式除尘设备，是解决这种抛光打磨工艺粉尘问题的关键。

　　目前，具备这些能力的除尘设备主要是涡旋式（自激式）湿式除尘器。

　　异形大体积铝镁制品抛光打磨工件粉尘

　　该工艺的难点在于很难设计出满足吸尘效果的吸尘罩，采用抛光打磨作业空间和除尘设备一体式的综合除尘装置，是解决这个问题的关键。

　　目前，经过改良设计的抛光打磨作业空间和除尘设备一体式的涡旋式（自激式）湿式除尘装置在这方面进行了有益的尝试。但投资成本较高。

　　抛丸机选配除尘设备注意要点

　　吸风量应足以保证抛丸机腔体始终处于微负压状态。

　　抛丸机腔体内产生的铝镁等金属混合物粉尘聚集在抛丸机机体内极易发生燃烧甚至爆炸，吸风效果必须持续稳定，避免抛丸机腔体内粉尘聚集，这就要求为其配套的除尘设备自身压力必须长期稳定。

　　19.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子。20.在实施例中，表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器执行:控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的供应；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的表面上的残余物。21.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该主供应管线可向该喷嘴另外供应与该粒子相同或不同的第二粒子。该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的该供应，可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的该表面上的残余物；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该第二粒子以利用该第二粒子涂布该物体的该表面。22.在实施例中，该物体可以是被设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中的部件且可由涂布有y2o3的铝材料形成。23.根据实施例，提供一种用于处理待处理物体的表面的方法，其中设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中且被污染的部件作为待处理物体。该方法包括:在其中设置有该物体的气氛中形成真空且通过粒子以超音速速率与该物体的表面上的污染物碰撞来清洁该物体的该表面。24.在实施例中，该粒子可具有与该物体的涂布成分相同的成分或硬度与该物体的涂布成分的硬度相似的成分。

　　以30标准升每分钟(slm)来供应cda。确定第二清洁区域之涂布厚度减小了12μm。虽然清洁粒子1喷射到第二经清洁区域100次，但确定涂布厚度没有显著减小且仅去除了污染物。62.通过将干净干燥空气(cda)作为载体气体喷射al2o3粒子50次来清洁第三清洁区域。以30标准升每分钟(slm)来供应cda。确定第三清洁区域的涂布厚度减小了4μm。63.在清洁之后，经清洁表面可将干净干燥空气(cda)作为载体气体用y2o3来涂布。例如，涂布粒子可作为具有几μm或更小的粒子的粉末提供，且可以不同的设置其中储存涂布粒子的粒子储存构件及其中储存清洁粒子的粒子储存构件。64.与常规研磨清洁方法中的厚度减小相比，根据本发明构思的实施例的厚度减小小。例如，在研磨的情况下，涂布厚度减小了20μm，然而在本发明构思的实施例中，图7中第二清洁区域中的涂布厚度减小了12μm。因此，部件的涂布效能可保留更长的时间。此外，根据本发明构思的实施例，通过控制粒子的大小、粒子的类型及喷射速度，经由喷嘴供应的粒子可适用于清洁粒子及涂布粒子。

　　7. 公差的合理性:对于图面要求走公差的地方一定要合理分配公差.若为电镀,可不考虑公差,若为烤漆,则外形走负差,孔位须走正差.8. 毛刺方向:对于门板类及盒体类考虑毛刺方向,一般绘制完图后如料件正面在内,可使用镜像命令反转图面再标注尺寸.要毛刺在料件反面为原则（数控冲床的排版方向要考虑到正反面及毛刺方向，是表面不处理的不锈钢件亮面方向的选择）。9. 刀具的合理选择:对于需用刀具加工的地方,先查看公司刀具表确定有无此刀具,若无看是否可作工艺上的改进,无法修正时要请购刀具.