湖北低压真空机厂家定制

　　表面处理设备关键部件

　　一、多功能离子注入技术及设备

　　多功能离子注入是一种将离子注入和增强沉积相结合的先进表面改性新技术。该设备配有多个源头，既能单独使用，也可以根据工艺要求以各种不同方式，部分或同时进行工作，从而实现对材料表面的单元、多元注入或增强沉积。被它处理过的工件，明显改善工件表面的耐磨、耐腐蚀和抗疲劳等性能，从而提高工件的使用寿命。

　　二、全方位离子注入与沉积技术及设备

　　全方位离子注入是一种先进的材料表面改性新技术。其基本原理是:将需处理的工件直接浸泡在等离子体中，在工件上施加负脉冲高压，离子通过工件周围的等离子体鞘层的加速从各个方向垂直注入工件表面，从而改变零件表面层的物理和化学特性。该设备功能强大，可以注入气体和金属离子，亦可实现增强沉积成膜，在一定深度内，形成与基本之间连续过渡的表面改性层。此改性层的结合力，远优于PVD、CVD涂层。它可明显的提高材料的耐磨、耐腐蚀等性能，从而提高其使用寿命

　　精细表面处理: 附件和辅助设备(工艺刷；打磨抛光膏、乳剂、酸保护剂；抛光用技术设备；清洗机械)；精细处理设备(光亮设备；氧化设备；擦拭设备；磨钝尖锐边缘、打磨和抛光设备；喷砂机；标志漆涂层用机器；产品表面光化学硬化设备)表面处理的其他设备: 热交换；冷却机器与设备；通风系统；喷丸加工设备；测量和监控设备、研究设备:研究设备；供应实验室产品；测量和监控设备

　　因此，在清洁待清洁的物体的表面之后，能够持续执行沉积，且因此提高生产力。65.此外，根据本发明构思的实施例，涂布步骤是在清洁步骤之后执行。因此，可保持对初始涂布薄膜的损失厚度及表面粗糙度的补偿，且因此当安装半导体处理腔室时，可能使受到遭遇初始条件困扰的发生小化。66.如上所述，根据本发明构思的实施例，表面处理设备及方法可以地清洁部件。67.根据本发明构思的实施例，与相关技术相比，表面处理设备及方法可降低在部件的清洁过程中涂布厚度的减小。68.根据本发明构思的实施例，与相关技术相比，表面处理设备及方法可降低在部件的清洁过程中表面平均粗糙度的减小。69.根据本发明构思的实施例，表面处理设备及方法可通过清洁部件并持续涂布部件来降低花费在使部件再生上的时间。70.根据本发明构思的实施例，表面处理设备及方法可以在不使用诸如酸性化学处理或碱性化学处理的化学处理过程的情况下环境友好地使部件再生。71.本发明构思的功效并不限制于前述功效，且本文未提及的其他功效可由本发明构思涉及的那些本领域普通技术人员从该说明书及附图中充分理解。

　　★表面刻蚀:硅的微细加工，玻璃等太阳能领域的表面刻蚀处理★表面接枝:材料表面特定基团的产生和表面活化的固定★表面沉积:疏水性或亲水性层的等离子体聚合沉积其广泛应用于金属、微电子、聚合物、生物功能材料、低温灭菌及污染治理等多种领域，是企业、科研院所进行等离子体表面处理的理想设备。公司设有韩国首家低温等离子体表面处理技术研发中心。拥有以韩国研究院人员为主导的研发团队，具有多年从事低温等离子体表面处理工艺研究的经验和深厚的理论基础。研发中心下设表面清洗研究室、表面活化研究室、引发接枝研究室以及生物材料表面处理研究室等。