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　　表面处理设备关键部件

　　一、多功能离子注入技术及设备

　　多功能离子注入是一种将离子注入和增强沉积相结合的先进表面改性新技术。该设备配有多个源头，既能单独使用，也可以根据工艺要求以各种不同方式，部分或同时进行工作，从而实现对材料表面的单元、多元注入或增强沉积。被它处理过的工件，明显改善工件表面的耐磨、耐腐蚀和抗疲劳等性能，从而提高工件的使用寿命。

　　二、全方位离子注入与沉积技术及设备

　　全方位离子注入是一种先进的材料表面改性新技术。其基本原理是:将需处理的工件直接浸泡在等离子体中，在工件上施加负脉冲高压，离子通过工件周围的等离子体鞘层的加速从各个方向垂直注入工件表面，从而改变零件表面层的物理和化学特性。该设备功能强大，可以注入气体和金属离子，亦可实现增强沉积成膜，在一定深度内，形成与基本之间连续过渡的表面改性层。此改性层的结合力，远优于PVD、CVD涂层。它可明显的提高材料的耐磨、耐腐蚀等性能，从而提高其使用寿命

　　7、饰和防护层，通常用作非金属、印刷电路板孔金属化等电镀加厚镀层的导电层。化学镀铜只能给塑料制件镀上一层导电源，镀层很薄。要想继续加厚其它镀层时，要先用电镀铜将化学镀铜层加厚。电镀铜时，可以使用酸性镀铜，也可以使用碱性镀铜。塑料制件经过电镀铜以后，就可以根据需要继续电镀其它金属镀层。金属喷镀的原理金属喷镀时，镀面材料在专门的喷汇或喷枪中熔化和雾化，并喷射到基体材料上，这种面饰方法有时也称为金属喷涂。一般使用氧乙炔焰，但有时也使用其它气体。当镀面金属丝通过焰心自动给送时，金属丝熔化并同时被压缩空气流雾化和喷射到基体材料上。几乎一种能够制成金属丝的金属用这种方法喷镀。另一种喷枪利用粉末状材料通

　　原料粒子的尺寸可为几μm，且通过使原料颗粒粒化所获得的清洁粒子1的尺寸可为几十μm。例如，清洁粒子1的尺寸(大小)可在几μm至100μm的范围内。清洁粒子1的尺寸(大小)可优选地在20μm至50μm的范围内。当原料颗粒被粒化且大小变大时，碰撞能量可能增强。清洁粒子1的大小及形状可根据涂布薄膜及污染物薄膜的硬度来不同地设置。49.图3是示出根据本发明构思的实施例的表面处理方法的流程图。将参考图3描述根据实施例的表面处理方法。50.根据实施例的表面处理方法包括:拆卸待清洁的部件的步骤(s10)；通过在真空中经由超音速喷嘴110喷射清洁粒子来清洁部件的步骤(s20)；通过向已清洁部件吹扫气体来去除经清洁部件的表面上的灰尘的步骤(s30)；及重新涂布经清洁部件的表面的步骤(s40)。51.图4是示出使用根据图2的实施例的表面处理设备清洁部件的表面的步骤的视图。图5是示出使用根据图2的实施例的表面处理设备来向部件的表面吹扫气体的步骤的视图。图6是示出使用根据图2的实施例的表面处理设备来涂布部件的表面的步骤的视图。

　　虽然化学改性方法可以增加金属的亲水性，但仍然存在一些危险，如化学残留物，低温等离子体处理技术是一种中性、的干法处理，可以清洁基底表面。它可以修饰基材表面，改善基材的表面能、润湿性、活化等性能。当涂层支架植入体内时，物会缓慢释放，抑制支架周围瘢痕组织的生长，保持动脉通畅。酶标板、细菌计数培养皿、细胞培养皿、组织培养皿的亲水处理。经等离子体处理后，细菌培养皿表面由疏水性变为亲水性，获得支持细胞粘附和铺展的能力，适合细胞培养。经血浆表面修饰的体外细胞培养皿的速度明显快于未经处理的培养皿。等离子体表面处理的效果可以简单地通过滴水来验，处理后的样品表面被水润湿。