贵州表面处理机器生产厂家

　　刻蚀通常又会被称为蚀刻、咬蚀、凹蚀等，刻蚀作用是利用典型的气体组合形成具有强烈蚀刻性的气相，等离子体与物体表面的有机物基体发生化学反应，生成其他比如CO,CO2,H2O等气体，从而达到蚀刻的目的。

　　实现刻蚀所使用的气体大多为含氟气体，应用最多的是四氟化碳。四氟化碳是一种无色无味的气体，无毒、不燃，但在高浓度时具有麻醉作用，所以在工业应用时储存的容器为专用高压气瓶，所使用的减压阀也为专用减压阀。

　　四氟化碳在被等离子清洗机电离后会产生含氢氟酸成分的刻蚀性气相等离子体，能够对各种有机表面实现刻蚀及有机物去除，在晶圆制造、线路板制造、太阳能电池板制造等行业中被广泛应用。

　　表面处理设备包括支承待清洁的物体10的支座(未示出)。表面处理设备可包括提供处理空间的腔室(未示出)。腔室(未示出)的处理空间可处于真空气氛下。例如，腔室(未示出)的处理空间可与排气管线(未示出)连接，且处理空间中的气氛可经由连接到排气管线(未示出)的真空泵(未示出)被抽空。因此，可在处理空间中形成真空气氛。待清洁的物体10可放置在真空气氛中。待清洁的物体10可在真空气氛中被处理。41.喷嘴110直接或间接地耦合到移动构件120且可在x轴方向、y轴方向或z轴方向上移动。例如，移动构件120可利用在x轴方向、y轴方向或z轴方向上可移动的移动级(moving stage)来实施。可替代地，移动构件120可利用机械臂来实施。42.虽然移动构件120示出为与喷嘴110直接或间接地耦合，但移动构件120可被配置为相对于喷嘴110移动物体10。例如，移动构件120可被配置为在x轴方向、y轴方向或z轴方向上移动支承待处理物体10的支座(未示出)，且可以相对于喷嘴110移动物体10。43.喷嘴110利用超音速喷嘴实施且以超音速速率喷射清洁粒子1，该清洁粒子1将在下文描述。超音速喷嘴可通过各种已知文件引用。喷嘴110可定位成朝向待清洁的物体10的表面。污染物20可沉积在物体10上，以形成薄膜。

　　47.清洁粒子1通过喷嘴110以超音速速率喷射。清洁粒子1可作为颗粒或粉末提供。例如，y2o3、al2o3、yag、ysz或zr2o3可被选择为清洁粒子1。除了那些列出的之外，清洁粒子1可作为具有与待清洁的物体10的涂布薄膜的硬度值相似的硬度值的粒子提供。关于相似硬度值，当物体10的涂布薄膜为y2o3时，al2o3、yag、ysz或zr2o3具有与物体10的涂布薄膜的硬度值相似的硬度值。可选择并可单独供应一种或多种类型的清洁粒子1。当单独提供一种或多种类型的清洁粒子时，可进一步提供连接到主供应管线131以供应不同清洁粒子的附加的供应管线。48.清洁粒子1可被粒化而成。表面处理设备可包括使原料粒子粒化的组件。

　　等离子体设备表面活化处理工艺在硅胶制品中的应用；硅胶制品是耐高温塑料，能承受连续高温。与其他材料相比，硅胶制品具有勾兑生物制品的特性，生产的设备结实耐用，主要应用于食品、医疗设备和工业生产行业。但是硅胶制品的表层容易沾上灰尘。生产厂家通常用有机化学品喷漆，使硅胶制品表面层耐磨、防尘、促进亲水性。然而，这样的生产过程不仅增加了成本，也干扰了生态和身体健康。理论上，硅胶制品的表层具有氧原子结构，具有负和静电能，而细颗粒含有正。因此，硅胶制品的细小颗粒表层与静电能可相互吸引，使表层尘土飞扬，不易清洁，干扰设备的外观和功效。