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上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源提供中空阴极 e-Mission Hollow Cathodes 结构紧凑, 重量轻, 可以安装在离子源或真空系统的侧面, 相对于灯丝的模式有更长的使用寿命, 这在运行忌讳突然中断的复杂工艺时, 是非常有意义的. 而且离子源中空阴极 Hollow cathode 辐射的热量更低, 可以使衬底获得更低的温度,对于对温度敏感的衬底材料而言, 使用中空阴极更有优势.
离子源中空阴极 Hollow Cathodes 型号
| Model | HFx | SHC1000 | DSHC1000 |
| Cathode | Yes | Yes | Yes |
| Neutralizer | Yes | Yes | Yes |
| Orientation | Vertical / Horizontal | Vertical / Horizontal | Vertical / Horizontal |
| Regulation | Emission | Emission | Emission |
| Operational gas | None | Inert | Inert |
| Process gases | Inert & reactive | Inert & reactive | Inert & reactive |
| Power Controller | FC100x | e- Mission Power Pack | e- Mission Power Pack |
| Model | MHC1000 | LHC1000 |
| Cathode | Yes | Yes |
| Neutralizer | Yes | Yes |
| Orientation | Vertical / Horizontal | Vertical / Horizontal |
| Regulation | Emission | Emission |
| Operational gas | Inert | Inert |
| Process gases | Inert & reactive | Inert & reactive |
| Power Controller | e- Mission Power Pack | e- Mission Power Pack |
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源,霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经40 年改良及发展已取得多项专利. KRi 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.
若您需要进一步的了解产品详细信息或讨论,请联络上海伯东邓女士,分机134