溅射靶材是什么 众诚达应用材料公司 溅射

名称:溅射靶材是什么 众诚达应用材料公司 溅射

供应商:深圳市众诚达应用材料科技有限公司

价格:面议

最小起订量:1/个

地址:深圳市宝安区西乡固戍航城大道广豪锋工业园

手机:13530560892

联系人:涂代旺 (请说在中科商务网上看到)

产品编号:73119179

更新时间:2021-02-03

发布者IP:123.88.2.196

详细说明

   深圳众诚达应用材料科技有限公司生产销售的靶材,应用于平板显示行业。平面显示器(FPD) 这些年来大幅冲击 以阴极射线管 (CRT) 为主的电脑显示器及电视机市场,亦将带动ITO靶材的技术与市场需求。如今的i T O靶材有两种.一 种是采用纳米状态的氧化铟和氧化锡粉混合后烧结,一种是采用铟锡合金靶材。铟锡台金靶材可以采用 直流反应溅射制造 I T O薄膜,但是靶表面会氧化而影 响溅射率,并且不易得到大尺寸的台金靶材。如今一般采取第一种方法生产 I T O 靶材,利用 L } I R F反应溅射镀膜. 它具有沉积速度快.且能精确控制膜厚,电导率高,薄膜的一致性好,与基板的附着力强等优点 l。但是靶材制作困难,这是因为氧化铟和 氧化锡不容易烧结在一起。一般采用 Z r O2 、B i 2 O 3 、 C e O 等作为烧结添加剂,能够获得密度为理论值的 9 3 %~9 8 %的靶材,这种方式形成的 I T O薄膜的性能 与添加剂的关系极大。

   深圳众诚达应用材料科技有限公司生产销售的靶材不断随着行业发展,研发升级。各种类型的溅射薄膜材料在半导体集成电路 (VLSI) 、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等 方面都得到了广泛的应用。20世纪90年代 以来,溅射靶材及溅射技术的同步发展,极大地满足了各种新型电子元器件发展的需求。例如,在半导体集成电路制造过程中,以电阻率较低的铜导体薄膜代替铝 膜布线:在平面显示器产业中,各种显示技术 (如LCD、PDP 、OLED及FED等)的同步发展,有的已 经用于电脑及计算机的显示器制造;在信息存储产业中,磁性存储器的存储容量不断增加,新的磁光记录材料不断推陈出新这些都对所需溅射靶材的质量提 出了越来越高的要求,需求数量也逐年增加。