详细说明
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本公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵,采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口名牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产,替代液氮,节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点,其性能指标在国内处于领先地位,达到甚至超过国际先进水平。
适用于:物理、化学气相沉积镀膜、真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等真空镀膜设备; 光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统。
应用原理:
在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
深冷泵的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而 大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr、10-5 Pa)。
主要的性能特点
1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%;
2、提高镀膜质量,防返油、不脱落、颜色纯正;
3、降温迅速,3分钟内制冷到-120℃,最低可到-150℃;
4、2分钟热气除霜,迅速回温,5分钟可再降温;
5、触摸屏+PLC=完善的自动化控制;
6、一台设备可设计两路负载输出;
7、进口压缩机,环保混合型制冷剂;
8、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温 度显示;
9、除霜温度自由设定;
10、具有水温温度、排气温度显示;
11、缺水、水温过高报警;
12、压缩机排气过高、压力过高保护;
13、可本地、远程控制自由转换;
14、R232计算机数据接口,计算机可读取温度数据及控制。
型 号:TH-135-20A
压缩机功率:8.5KW
工作温度:-120℃至-145℃
抽气速度:101000L/s
制 冷 量:1800W
冷凝管面积:0.7m2
冷凝管长度:14m直径16mm
预冷时间:小于等于30min
降温时间:小于等于3min
除霜时间:小于等于3min
再降温时间:小于等于5min
适用油扩散泵径:小于等于1000mm
冷却方式:水冷(t≤30度)
型 号:TH-135-32A
压缩机功率:12.3KW
工作温度:-120℃至-145℃
抽气速度:250000L/s
制 冷 量:3500W
冷凝管面积:2.0m2
冷凝管长度:40m直径16mm
预冷时间:小于等于40min
降温时间:小于等于5min
除霜时间:小于等于3min
再降温时间:小于等于6min
适用油扩散泵径:双路输出
冷却方式:水冷(t≤30度)
销售总监: 宋雅楠|