超低温捕集泵 真空镀膜设备

名称:超低温捕集泵 真空镀膜设备

供应商:北京天地精仪科技有限公司

价格:246000.00元/台

最小起订量:1/台

地址:北京市顺义区空港B区裕华路28号10号楼西四层

手机:13701155560

联系人:宋艳霞 (请说在中科商务网上看到)

产品编号:69445020

更新时间:2021-04-25

发布者IP:111.198.242.159

详细说明

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  本公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵,采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口名牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产,替代液氮,节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点,其性能指标在国内处于领先地位,达到甚至超过国际先进水平。

  适用于:物理、化学气相沉积镀膜、真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等真空镀膜设备;光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统。

  应用原理:

  在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。

  深冷泵的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr、10-5 Pa)。

  主要的性能特点

  1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%;

  2、提高镀膜质量,防返油、不脱落、颜色纯正;

  3、降温迅速,3分钟内制冷到-120℃,最低可到-150℃;

  4、2分钟热气除霜,迅速回温,5分钟可再降温;

  5、触摸屏+PLC=完善的自动化控制;

  6、一台设备可设计两路负载输出;

  7、进口压缩机,环保混合型制冷剂;

  8、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温 度显示;

  9、除霜温度自由设定;

  10、具有水温温度、排气温度显示;

  11、缺水、水温过高报警;

  12、压缩机排气过高、压力过高保护;

  13、可本地、远程控制自由转换;

  14、R232计算机数据接口,计算机可读取温度数据及控制。

  销售总监: 宋雅楠

型 号TH-135-12ATH-135-20ATH-135-32ATH-135-50ATH-135-50AXTH-135-80A
压缩机功率(KW)8101215152X12
最大功率(KW)9.411.714.118.118.128.2
工作电流(A)172124313148
电源380V,50HZ,三相四线
工作温度(℃)-100℃至-150℃
抽气速度(l/s)93000149000238400372500280000596000
最大制冷量(W)(-100℃)170021002800380038006000
冷凝管表面积(m2)0.150.30.50.71.02. 0
冷凝管长度12m,φ16mm20m,φ16mm32m,φ16mm50m,φ16mm双路14m,φ16mm40m,φ16mm
预冷时间(min)305
降温时间(min)≤3≤3≤4≤5≤6≤5
除霜时间(min)≤3≤3≤3≤4≤4≤5
再降温时间(min)≤3≤3≤3≤3≤3≤2
适用油扩散泵直径(mm)≤600≤800≤900≤1000或2X600≤800——
冷水流量(T/H)1.51.82.53.23.26
冷水接口尺寸(mm)161616191925
冷却方式水冷,水温18℃~30℃,水压2bar~4bar
适用腔体直径(mm)≤110≤1300≤1500≤1800≤1500——