详细说明
北京厂家直销Parylene真空镀膜冷冻机| Parylene Coating
本公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵,采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口名牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产,替代液氮,节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点,其性能指标在国内处于领先地位,达到甚至超过国际先进水平。
适用于:物理、化学气相沉积镀膜、真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等真空镀膜设备;光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统。
应用原理:
在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
深冷泵的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr、10-5 Pa)。
主要的性能特点
1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%;
2、提高镀膜质量,防返油、不脱落、颜色纯正;
3、降温迅速,3分钟内制冷到-120℃,最低可到-150℃;
4、2分钟热气除霜,迅速回温,5分钟可再降温;
5、触摸屏+PLC=完善的自动化控制;
6、一台设备可设计两路负载输出;
7、进口压缩机,环保混合型制冷剂;
8、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温 度显示;
9、除霜温度自由设定;
10、具有水温温度、排气温度显示;
11、缺水、水温过高报警;
12、压缩机排气过高、压力过高保护;
13、可本地、远程控制自由转换;
14、R232计算机数据接口,计算机可读取温度数据及控制。
销售总监: 宋雅楠
型 号 | TH-135-12A | TH-135-20A | TH-135-32A | TH-135-50A | TH-135-50AX | TH-135-80A |
压缩机功率(KW) | 8 | 10 | 12 | 15 | 15 | 2X12 |
最大功率(KW) | 9.4 | 11.7 | 14.1 | 18.1 | 18.1 | 28.2 |
工作电流(A) | 17 | 21 | 24 | 31 | 31 | 48 |
电源 | 380V,50HZ,三相四线 |
工作温度(℃) | -100℃至-150℃ |
抽气速度(l/s) | 93000 | 149000 | 238400 | 372500 | 280000 | 596000 |
最大制冷量(W)(-100℃) | 1700 | 2100 | 2800 | 3800 | 3800 | 6000 |
冷凝管表面积(m2) | 0.15 | 0.3 | 0.5 | 0.7 | 1.0 | 2. 0 |
冷凝管长度 | 12m,φ16mm | 20m,φ16mm | 32m,φ16mm | 50m,φ16mm | 双路14m,φ16mm | 40m,φ16mm |
预冷时间(min) | 30 | 5 |
降温时间(min) | ≤3 | ≤3 | ≤4 | ≤5 | ≤6 | ≤5 |
除霜时间(min) | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤4 | ≤4 | ≤5 |
再降温时间(min) | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤2 |
适用油扩散泵直径(mm) | ≤600 | ≤800 | ≤900 | ≤1000或2X600 | ≤800 | —— |
冷水流量(T/H) | 1.5 | 1.8 | 2.5 | 3.2 | 3.2 | 6 |
冷水接口尺寸(mm) | 16 | 16 | 16 | 19 | 19 | 25 |
冷却方式 | 水冷,水温18℃~30℃,水压2bar~4bar |
适用腔体直径(mm) | ≤110 | ≤1300 | ≤1500 | ≤1800 | ≤1500 | —— |