详细说明
本公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵,采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口名牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产,替代液氮,节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点,其性能指标在国内处于领先地位,达到甚至超过国际先进水平。
适用于:物理、化学气相沉积镀膜、真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等真空镀膜设备;光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统。
应用原理:
在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
深冷泵的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr、10-5 Pa)。
主要的性能特点
1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%;
2、降温迅速,3分钟内制冷到-120℃,最低可到-150℃;
3、2分钟热气除霜,迅速回温,5分钟可再降温;
4、一台设备可设计两路负载输出;
5、进口压缩机,环保混合型制冷剂;
6、完善的自动化控制;
7、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温 度显示;
8、当待机温度到达后有指示灯提示,可以开始制冷;
9、除霜温度自由设定;
10、具有水温温度、排气温度显示;
11、缺水、水温过高报警;
12、压缩机排气过高、压力过高保护;
13、电源断电、缺相报警;
14、可本地、远程控制自由转换;
15、R232计算机数据接口,计算机可读取温度数据及控制。
销售总监: 宋雅楠
型 号 | TH-135-3P | TH-135-5P | TH-135-7P | TH-135-10P | TH-135-12P | TH-135-15P |
压缩机功率(KW) | 2.8 | 4.6 | 6.3 | 8.5 | 10.1 | 12.3 |
工作温度(℃) | -120℃至-150℃ |
抽气速度(l/s) | 30600 | 51000 | 73,000 | 101,000 | 153,000 | 250,000 |
制冷量(W) | 300 | 500 | 1200 | 1800 | 2500 | 3500 |
冷凝管表面积(m2) | 0.15 | 0.3 | 0.5 | 0.7 | 1.0 | 2. 0 |
冷凝管长度 | 8m,φ6mm | 10m,φ10mm | 12m,φ12mm | 14m,φ16mm | 24m,φ16mm | 40m,φ16mm |
预冷时间(min) | ≤30 | ≤30 | ≤30 | ≤30 | ≤40 | ≤40 |
降温时间(min) | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤6 | ≤7 |
除霜时间(min) | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 |
再降温时间(min) | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤6 | ≤6 |
适用油扩散泵径(mm) | ≤300 | ≤500 | ≤800 | ≤1000 | 双路输出 | 双路输出 |
冷却方式 | 风冷、水冷(t≤30℃) | 水冷(t≤30℃) | 水冷(t≤30℃) | 水冷(t≤30℃) | 水冷(t≤30℃) |
适用腔体直径(mm) | ≤900 | ≤1300 | ≤1500 | ≤1700 | ≤2000 |