1000度1200度高温真空管式炉厂家-郑州鑫涵管式加热炉体

　　石英反应腔室根据需求选择不同直径的石英管作为反应室。有Φ40，Φ60，Φ80，Φ100，Φ120，Φ150等规格可选。

　　真空系统根据需求选择不同真空效果的真空系统。有DZK10-1（极限真空0.1Pa），GZK10-3（极限真空0.001Pa），以及进口高真空机组（极限真空0.0001Pa）供选择。

　　质子流量供气系统根据需求选择多路质子流量供气系统。有两路GQ-2Z，三路GQ-2Z，四路GQ-2Z，五路GQ-2Z或更多路供选择。

　　射频等离子源根据需求选择强度不同的射频电源。有DLZ300（300W），DLZ500（500W）或*大功率的射频电源供选择。

　　常见PECVD系统组合1.1200度60滑轨式微型管式炉，低真空系统，四路质子流量供气系统，300W射频电源

　　管式电炉特点

　　1、控制精度:±1℃炉温均匀度:±1℃(根据加热室大小而定)。

　　2、微电脑控制，操作方便，可编程，自动升温、自动保温、自动降温。

　　3、炉管采用刚玉99陶瓷。

　　4、不锈钢金属法兰密封（双胶圈）

　　5、炉体经精致喷塑耐腐蚀耐酸碱，炉体与炉膛隔离采用风冷炉壁温度接近室温

　　6、双回路保护（段偶、断电等）

　　7、进口耐火材料，保温性能好，耐温高

　　8、真空表真空度0至负0.1Mpa

　　9、电炉可通多种气体（氧气、氮气、氩气、氢气等）

　　10、温度类别:1000℃1400℃1600℃1700℃四种

　　11、本产品采用集成化电路，工作环境好，抗干扰。

　　SK2系列1000度1200度1300度管式炉型号及基本参数

　　一体式结构、带定时功能

　　选购管式炉时，温度上要留50-100度之间的余量，不能使用在最高温度

　　SK2系列1200度1400度1700度管式炉型号及基本参数

　　以下型号为陶瓷纤维炉膛，一体式结构，可抽真空、通气体、温控可编程、含真空泵、含法兰。

　　选购管式炉时，温度上要留50-100度之间的余量，不能使用在最高温度