详细说明
产品简介
FS4000是采用世界领先的微机电系统（MEMS）流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。
产品详细信息
型号:FS4000系列
产品概述:MF4000系列带数显；FS4000系列不带数显
FS4000是采用世界领先的微机电系统（MEMS）流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等）
FS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围最大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。
FS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围最大到50SLPM；可用于麻醉设备、洁净气体检测，如:空气采样机，气体分析仪等
产品特点:
-专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而
设计
-支持多种连接方式，易于安装与使用
-传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
-在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高
-输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
-零点稳定度高
-全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性
-低功耗、低压损
-响应速度快
机械尺寸:
产品特点:
| 性能参数 | FS4003 | FS4008 | 单位 |
| 通径 | 3 | 8 | mm |
| 最大流量 | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM |
| 量程比 | ≥100:1 | |
| 精度 | ±(1.5+0.2FS) | % |
| 重复性 | 0.25 | % |
| 零点输出飘移 | ±30 | mV |
| 输出飘移 | ±0.12 | %/℃ |
| 响应时间 | 10（默认，50，100，200，500，1000可设置） | msec |
| 工作电源 | 8~18Vdc,50mA | |
| 输出方式 | 线性，RS232/RS485,模拟电压0.5~4.5Vdc | |
| 最大流量压损 | 100 | 600 | Pa |
| 最大工作压力 | 0.5 | MPa |
| 工作温度 | -10 ~ + 55 | ℃ |
| 存储温度 | -20 ~ + 65 | ℃ |
| 工作湿度 | <95%RH（无结冰、无凝露） | |
| 机械接口 | BSPT1/4（R1/4）,4mm/6mm/8mm快速接头 | |
| 校准方式 | 空气（或其他气体），20℃，101.325kPa | |
| 重量 | 57（带R1/4,BSPT1/4接口） 71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头) | g |
MF4003-2-R-BV-A
MF4003-5-R-BV-A
MF4008-10-R-BV
MF4008-50-R-BV
FS4003-2-R-BV-A
FS4003-5-R-BV-A
FS4008-10-R-BV
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