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　　FS列是采用世界领先的美国微机电系统（MEMS）流量传感技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。

　　该传感器能直接测量气体质量流量，压损低。适用于净化空气或氮气流量，还可用于环保监测仪器，如空气采样

　　我们MF4008 MF4003 MF5712 MF5706一体显示微型流量计

　　产品概述:

　　FS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围最大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。

　　FS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围最大到50SLPM；

　　产品特点:

　　- 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计

　　- 支持多种连接方式，易于安装与使用

　　- 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量

　　- 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高

　　- 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压

　　- 零点稳定度高

　　- 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性

　　- 低功耗、低压损

　　- 响应速度快

　　产品特点:

　　性能参数 FS4003 FS4008 单位

　　通 径 3 8 mm

　　最大流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM

　　量程比 100:1

　　精 度 ±(1.5+0.2FS) %

　　重复性 0.75 %

　　零点输出飘移 ±30 mV

　　输出飘移 0.12 %/oC

　　响应时间 100 ms

　　工作电源 8~18Vdc,100mA

　　输出方式 线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc

　　最大流量压损 100 600 pa

　　最大工作压力 0.5 MPa

　　工作温度 -10 ~ +55 oC

　　存储温度 -20 ~ +65 oC

　　工作湿度 <95%RH（无结冰、无凝露）

　　机械接口 BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头

　　校准方式 空气（或其他气体），20oC，101.325kPa

　　重量 57（带R1/4,BSPT1/4接口）

　　71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头)